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本公开提供了一种大面积掩模板的三维潜像计算方法和装置。本公开的方法包括：构建样本掩膜板图案的样本局部特征图案和样本局部特征图案对应的三维潜像的训练集；根据训练集对生成对抗网络进行训练；基于第一分割方式将待处理的掩膜板图案进行图像分割，得到待...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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