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本发明公开一种光斑整形装置，属于半导体加工设备的技术领域，光斑整形装置包括基座、转动座、第一镜片、第二镜片、第一光阑、第二光阑、第一锁紧螺杆及第二锁紧螺杆；基座具有第一锁紧面和第二锁紧面，第一锁紧螺杆及第二锁紧螺杆均与转动座螺纹连接，转动座...
该专利属于迈为技术（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈为技术（珠海）有限公司授权不得商用。

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