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本申请涉及一种导电聚合物层，其位于静电卡盘上。所述导电聚合物层包括导电聚合物及光敏聚合物。所述导电聚合物的导电性促进通过所述导电聚合物层进行的电荷消散，而所述光敏聚合物的光敏性允许所述导电聚合物层的表面被光图案化。所述导电聚合物层导电及光敏...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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