温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种理论光谱库建库的方法、测量方法及其电子设备、介质、程序产品。其中，所述理论光谱库建库的方法，包括：将一半导体器件进行几何建模，设置用于描述所述几何模型的结构参数及所述结构参数的浮动范围；将所述几何模型划分为多个主模块，并针对...
该专利属于匠岭科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过匠岭科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。