温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了减排设备和方法。该减排设备用于对来自半导体加工工具的排出物流进行减排，包括：减排室，所述减排室配置成接收排出物流并提供经减排的排出物流；位于减排室下游的湿式洗涤器，所述湿式洗涤器配置成接收经减排的排出物流并提供经洗涤的排出物流；...
该专利属于埃地沃兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。