下载具有金属板层的半导体管芯的技术资料

文档序号:43504038

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本申请涉及具有金属板层的半导体管芯。在实施方式中,一种半导体管芯包括:基板;层间绝缘层,其位于基板的前侧表面下方;水平金属互连件,其位于层间绝缘层中;前侧焊盘,其位于层间绝缘层的下表面下方;前侧凸块结构,其位于前侧焊盘的下表面下方;贯通电极...
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