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具有金属板层的半导体管芯制造技术
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下载具有金属板层的半导体管芯的技术资料
文档序号:43504038
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本申请涉及具有金属板层的半导体管芯。在实施方式中,一种半导体管芯包括:基板;层间绝缘层,其位于基板的前侧表面下方;水平金属互连件,其位于层间绝缘层中;前侧焊盘,其位于层间绝缘层的下表面下方;前侧凸块结构,其位于前侧焊盘的下表面下方;贯通电极...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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