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本文的实施例涉及用于半导体器件的温度感测电路。该电路具有远程温度感测元件(RTSE)，该RTSE包括在衬底的前侧或后侧上的金属层中形成的金属热敏电阻器。金属热敏电阻器可以是蛇形或螺旋形的。RTSE与另一位置处(例如，在衬底上)的单独的感测电...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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