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本发明属于晶圆干燥领域，具体的说是一种多晶圆干燥设备，包括干燥箱，设置在干燥箱内部等间距分布的晶圆花篮，本发明通过优先吹向晶圆主体的氮气能够将一些附着在晶圆主体外部的杂质颗粒吹落，防止晶圆主体在放入干燥箱内的过程中，外界杂质颗粒等附着晶圆主...
该专利属于吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司授权不得商用。

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