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本发明涉及一种改善靶材外圆R角崩边的方法，所述方法包括以下步骤：对靶材的外圆结构进行磨削处理，所述靶材的外圆结构包括斜边、与所述斜边连接的倒R角以及与所述倒R角连接的直阶；所述磨削处理包括：先采用直磨头将靶材的外圆进行第一磨削，使靶材外圆加...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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