下载半导体器件的制造方法、半导体器件以及存储器系统的技术资料

文档序号:43476138

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本申请实施方式提供了一种半导体器件的制造方法、半导体器件以及存储器系统。该半导体器件的制造方法包括:形成从初始堆叠结构的第一表面延伸至第一牺牲层的多个接触孔,其中,初始堆叠结构包括交替叠置的多个介电层和多个牺牲层,第一牺牲层为多个牺牲层中最...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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