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一种光学测量装置，适用于测量待测微纳米薄膜，待测微纳米薄膜包括透明部分和非透明部分，光学测量装置包括：样品台，适用于容纳待测微纳米薄膜；光产生组件，适用于发出测量光；透镜组件，适用于使测量光聚焦至待测微纳米薄膜表面的目标位置，透镜组件包括：...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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