下载横向扩散金属氧化物半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:43470036

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本申请涉及一种横向扩散金属氧化物半导体器件及其制备方法。该横向扩散金属氧化物半导体器件包括:衬底;第一掺杂区,设于衬底内;第二掺杂区,设于衬底内;沟槽,设于衬底内,且从第二掺杂区的表面开口并延伸至第一掺杂区,以暴露部分第一掺杂区;漏区,设于...
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