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本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种大温度梯度的单晶炉导流筒和单晶炉；大温度梯度的单晶炉导流筒用于单晶炉，该导流筒包括外壳，外壳设置有容纳腔，容纳腔内设置有外筒和内筒；外筒的制备材料为聚丙烯腈基石墨毡、且其套设于内筒的外部，并与外壳...
该专利属于苏州晨晖智能设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晨晖智能设备有限公司授权不得商用。

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