下载用于分析微光刻微结构化样品的图像的方法和设备的技术资料

文档序号:43468228

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于分析微结构化样品(100)的图像(300)的方法,所述微结构化样品(100)包括至少一个第一区段(112)和至少一个第二区段(114),所述第二区段(114)具有边缘(110)并且相对于所述第一区段(112)凸起,其中,所述图像包括...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。