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本发明提供能够调节机差的等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：高频电源；一对等离子体电极；和配置在一对等离子体电极与高频电源之间的匹配器，匹配器具有：高频供电线，能够从高频电源对其供给高频电功率；接地的接地线；与一个等离子体电极连接的第1...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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