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本技术公开了一种重掺磷晶棒成长过程中的磷收集装置，包括大气喷射器、液环真空泵和冲洗装置；所述大气喷射器包括工作气体进口、抽气口、出气口和冲洗进口；所述抽气口用于与长晶机的出气口连接，所述大气喷射器的出气口与所述液环真空泵的进气口连接；所述冲...
该专利属于郑州合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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