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本文中公开了涉及量测装置和相关联的方法的实施例，该量测装置和相关联的方法用于使用固定传感器(510，530，610)组件并行地对设置在基板(550，650)上的多个目标(例如，对准标记)进行成像，该固定传感器组件与可更换光学路由组件(520...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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