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本申请涉及半导体领域,公开了一种带间级联激光器及其制备方法,包括:衬底;位于衬底上的第一混合波导、第一波导层、有源层、第二波导层、第二混合波导;第一混合波导包括由下至上层叠的第一外限制层和第一超晶格限制层,第二混合波导由下至上层叠的第二超晶...该专利属于睿创光子(无锡)技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿创光子(无锡)技术有限公司授权不得商用。
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