下载全包围栅极场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:43442849

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种全包围栅极场效应晶体管及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括衬底、源极、栅极结构、漏极和延展结构,延展结构包括源极延展结构和/或漏极延展结构,源极、栅极结构、漏极、源极延展结构和漏极延展结构均设置于衬底的同一侧,栅极结构设置...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。