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本技术提供了一种晶圆级老化测试夹具及晶圆级老化测试装置，涉及晶圆测试技术领域。本技术的加热装置包括加热膜层和连接组件，加热膜层具有均匀布置的电阻丝以及与电阻丝连接的至少一个通电接口，加热膜层设于热沉远离晶圆的一侧以通过热沉对晶圆加热，连接组...
该专利属于苏州联讯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州联讯仪器股份有限公司授权不得商用。

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