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基于电容的探针接触检测。描述了用于检测探针在表面上的接触的技术。一种用于检测探针尖端在表面上的纳米级接触的计算机实现的方法包括将探针尖端定位在相对于样品表面的第一位移处，该样品表面暴露一个或多个纳米结构。该方法可以包括使探针尖端朝向样品表面...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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