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本公开提供了一种密封门冷却系统，包括：气冷管路、气源、排风装置和工艺联动控制器。气冷管路设置于工艺腔室的密封门上；气源连通气冷管路的进气管路；排风装置连通气冷管路的排气管路；工艺联动控制器设置于进气管路上，被配置为：响应于工艺控制信号导通或...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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