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提供了识别基板（10）的有缺陷的电连接的方法，该基板具有第一表面接触（21）和从该第一表面接触延伸通过该基板的第一电连接（20）。该方法包括以下步骤：通过将电子束（111）引导到该第一表面接触（21）上来对该第一表面接触进行充电；在该第一表...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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