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制造过程参数估计的与自动编码器模型或类似相关的模型制造技术
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文档序号:43398412
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一种用于对潜在元素进行排序和/或选择以在潜在空间表示中建模低维数据的方法,低维数据是模型的第一模型组件确定的输入数据的降维表示,该方法包括训练所述模型和基于所述训练来选择所述潜在元素选择之一的步骤,所述训练包括:降低输入数据的维度以在所述潜...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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