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本发明公开了一种移动离子源活化镀膜装置及晶圆键合系统，属于晶圆键合技术领域。移动离子源活化镀膜装置包括平移驱动机构、处理单元和至少两个旋转驱动机构，平移驱动机构包括移动板，移动板能够沿第一方向移动；处理单元包括靶材和至少两个离子源，至少两个...
该专利属于天津中科晶禾电子科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中科晶禾电子科技有限责任公司授权不得商用。

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