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本说明书提供了一种膜厚值获取方法、装置、介质、设备和程序产品，获取晶圆上多个离散位置点的膜厚测量值，并基于此确定了多个位置点的曲率，并进行插值得到其余位置点的膜厚值，插值过程中通过曲率约束膜厚值的取值。述方式估计的膜厚值由于引入了曲率的约束...
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