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本实用新型公开了一种阴极盘支承装置，其特征在于包括屏蔽接触套、绝缘柱和底盘；所述屏蔽接触套套在绝缘柱的上部，所述绝缘柱固定在底盘上；另外，在所述屏蔽接触套内壁和绝缘柱之间设有屏蔽间隙。所述屏蔽接触套的下部横截面大于上部横截面形成防溅射段。所...
该专利属于大连海事大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连海事大学授权不得商用。

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