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本发明涉及晶圆缺陷类别检测方法及装置，方法包括：获取待检测的目标晶圆图；将所述目标晶圆图输入到晶圆重构模型中，得到重构晶圆图；其中，所述晶圆重构模型为自编码器，基于包含多个正常晶圆图的第一数据集预先训练得到；根据所述目标晶圆图和重构晶圆图之...
该专利属于深圳智现未来工业软件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳智现未来工业软件有限公司授权不得商用。

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