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本申请提供一种寻边偏差定位方法，涉及晶圆加工技术领域，寻边机构包括定位基座和检测机构；定位基座上设有第一检测孔和第二检测孔；第一检测孔圆心与第二检测孔圆心之间的连线为定位基准线；方法包括以下步骤：晶圆完全遮挡所述第一检测孔和所述第二检测孔获...
该专利属于北京特思迪半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京特思迪半导体设备有限公司授权不得商用。

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