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本发明提供了一种三维电极探测器及其制作方法，涉及三维电极探测器技术领域。本发明提供的三维电极探测器的制作过程中并无涉及多次深槽刻蚀相关工艺，本发明提供的制作工艺简单，使得其可实现性较好。...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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