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本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法、装置、介质、设备和程序产品，获取了多个用于表征晶圆缺陷图像的原始数据集，通过层次聚类法对原始数据集进行聚类处理，获得树状图，根据预设的距离阈值从树状图中确定至少一个类簇。再获取新缺陷数据，并根据新缺陷数据与...
该专利属于深圳智现未来工业软件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳智现未来工业软件有限公司授权不得商用。

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