下载铁电存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:43377905

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种铁电存储器及其制造方法。所述铁电存储器的制造方法包括如下步骤:形成基底,所述基底包括衬底、位于所述衬底上方的第一介质层以及贯穿所述第一介质层的第一接触结构;于所述第一介质层内形成环绕所述第一接触结构...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。