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一种方法包括将供应装置固定到腔室部件的一个或多个通道的入口。通道在腔室部件的包括入口的第一侧与腔室部件的包括一个或多个通道的出口的第二侧之间提供一个或多个气体流动路径。方法进一步包括将排放装置固定到一个或多个通道的出口。方法进一步包括执行多...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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