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本技术公开了一种高纯五氯化钽稳定输送装置，包括供料罐、储料罐、称重传感器、载料气气源和汽化器，供料罐与抽真空装置相连，储料罐与供料罐用输料管相连，出料控制机构包括出料管腔、螺杆输料组件，出料管腔设有出料口、进气口、与供料罐相连通的进料口，螺...
该专利属于杭州欣和智控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州欣和智控科技有限公司授权不得商用。

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