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本申请提供了一种半导体结构、半导体结构的制备方法和半导体器件,该半导体结构包括:衬底;第一外延层,位于衬底的表面上,第一外延层包括外延层本体和沟槽,沟槽位于外延层本体中;第二外延层,至少位于部分的沟槽中,第二外延层的掺杂类型与第一外延层的掺...该专利属于珠海格力电子元器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海格力电子元器件有限公司授权不得商用。
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