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一种超高真空微腔体制造技术
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下载一种超高真空微腔体的技术资料
文档序号:43372816
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本技术涉及真空腔体技术领域,尤其为一种超高真空微腔体,包括箱形腔体,所述箱形腔体的正面设置有观察窗,所述箱形腔体的左右两侧设置有连接管,所述连接管外侧设置有法兰盘,所述法兰盘的上下两侧设置有立条,所述立条正面开设有滑槽,所述滑槽的内部设置有...
该专利属于江西万年芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西万年芯微电子有限公司授权不得商用。
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