【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空腔体，具体为一种超高真空微腔体。
技术介绍
1、一般来说，超高真空设备系统由真空泵、真空计、真空腔室及其它部件组成。它的核心为实现超高真空环境(真空度要好于1×10-10mbar)，以确保所需的工艺过程或者物理过程能够实现，同时应用于在半导体、凝聚态物理、化学、新材料研究和生物科学等各个领域；
2、而现有的超高真空微腔体在使用时，需要将法兰口与真空泵进行连接，在连接时，法兰的连接处会存在漏气的现象。
3、因此需要一种超高真空微腔体对上述问题做出改善。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种超高真空微腔体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种超高真空微腔体，包括箱形腔体，所述箱形腔体的正面设置有观察窗，所述箱形腔体的左右两侧设置有连接管，所述连接管外侧设置有法兰盘，所述法兰盘的上下两侧设置有立条，所述立条正面开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的正面设置有卡箍，所述...
【技术保护点】
1.一种超高真空微腔体，包括箱形腔体(1)，其特征在于：所述箱形腔体(1)的正面设置有观察窗(2)，所述箱形腔体(1)的左右两侧设置有连接管(3)，所述连接管(3)外侧设置有法兰盘(4)，所述法兰盘(4)的上下两侧设置有立条(5)，所述立条(5)正面开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内部设置有滑块(7)，所述滑块(7)的正面设置有卡箍(8)，所述卡箍(8)的内侧设置有密封垫(9)，所述卡箍(8)的左右两侧设置有限位套(10)，所述限位套(10)的内部套接有螺栓杆(11)，所述螺栓杆(11)外壁的上侧套接有螺母(12)。
2.根据权利要求1所述的一种超高真空...
【技术特征摘要】
1.一种超高真空微腔体，包括箱形腔体(1)，其特征在于：所述箱形腔体(1)的正面设置有观察窗(2)，所述箱形腔体(1)的左右两侧设置有连接管(3)，所述连接管(3)外侧设置有法兰盘(4)，所述法兰盘(4)的上下两侧设置有立条(5)，所述立条(5)正面开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内部设置有滑块(7)，所述滑块(7)的正面设置有卡箍(8)，所述卡箍(8)的内侧设置有密封垫(9)，所述卡箍(8)的左右两侧设置有限位套(10)，所述限位套(10)的内部套接有螺栓杆(11)，所述螺栓杆(11)外壁的上侧套接有螺母(12)。
2.根据权利要求1所述的一种超高真空微腔体，其特征在于：所述观察窗(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾育林，
申请(专利权)人：江西万年芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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