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在本说明书提供的一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备中，通过获取待检测晶圆的表面图像，并从该表面图像的各晶粒图像中，选取一张晶粒图像作为基准图像，并将其他晶粒图像作为测试图像，在该基准图像中确定第一标记点，通过图像匹配分别在各测试图像中确...
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