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一种热处理设备及热处理设备的工作方法，包括：炉腔；位于炉腔内的晶圆基座；位于炉腔内的温度控制装置，用于控制晶圆基座的温度；位于炉腔外部的温度补偿装置，用于对炉腔的侧壁进行加热补偿；位于炉腔外的晶圆转运装置，用于将炉腔外部的晶圆转运到晶圆基座...
该专利属于中芯南方集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯南方集成电路制造有限公司授权不得商用。

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