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公开了一种通过训练第二模型来更新第一模型的方法，第一模型与第一工艺范围相关，并且使用与第一结构集相关的第一测量信号集来训练。该方法包括：获得第二测量信号集，该第二测量信号集与包括所述第一结构集或其子集的第二结构集相关；以及使用所述第二测量信...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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