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图案检查方法及图案检查装置利用检查光扫描被检查试样，接受从被检查试样透射或反射的光进行摄像，对摄像而得的光学像素与参照图像进行比较并输出结果，所述扫描具有：在扫描近前侧的检查区域时，进行通过可变地控制工作台的高度位置在检查区域的各位置将图案...
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