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本发明提供了一种矩阵式压力传感器的制备方法，其利用了IC工艺，该制备方法包括：提供第一衬底以及第二衬底；在第一衬底的表面形成第一键合介质；通过第一键合介质，将第一衬底和第二衬底键合；在第二衬底的表面形成孔柱，孔柱贯穿第二衬底以及第一键合介质...
该专利属于广州增芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州增芯科技有限公司授权不得商用。

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