【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种矩阵式压力传感器的制备方法。
技术介绍
1、压力传感器通常用于触摸屏、机器人感知、医疗设备等领域。通过将多个压力传感器排列成一个矩阵，可以同时检测多个点的压力变化，从而提供高分辨率的压力分布图。
2、目前的薄膜压力传感器都是基于印刷工艺制作，接口部分采用刺破式冷压端子。由于其制造工艺和接口影响，只能将多颗压力传感器芯片在后端封装成点阵，存在传感器空间要求大，点阵密度不高的问题，使薄膜压力传感器的应用受到很大限制。
3、因而，如何提高传感器点阵密度，兼顾降低传感器空间要求，已成为业界目前亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种矩阵式压力传感器的制备方法，解决了如何提高传感器点阵密度，兼顾降低传感器空间要求的技术问题。
2、根据本专利技术的第一方面，本专利技术实施例提供一种矩阵式压力传感器的制备方法，包括：
3、步骤s1：提供第一衬底以及第二衬底；
4、步骤s2：在所述第一衬底的...
【技术保护点】
1.一种矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中包括：
3.如权利要求2所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S5中包括：
4.如权利要求3所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S8中形成所述孔塞包括：
5.如权利要求4所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，在所述步骤S8之后，还包括：
6.如权利要求1所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤S6中包括：
7.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤s4中包括：
3.如权利要求2所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤s5中包括：
4.如权利要求3所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤s8中形成所述孔塞包括：
5.如权利要求4所述的矩阵式压力传感器的制备方法，其特征在于，在所述步骤s8之后，还包括：
6.如权利要求1所述的矩阵式压力传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇彬，
申请(专利权)人：广州增芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。