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文档序号:43343176
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一种半导体器件包括:基板;第一下图案,在基板上;第二下图案,在第一下图案上;沟道图案,在第二下图案上;第一场绝缘层,在第一下图案的第一侧表面上;第二场绝缘层,在第一下图案的第二侧表面上;掩埋绝缘结构,在第一场绝缘层上并且在沟道图案的侧表面上...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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