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本发明公开了一种用于半导体耐腐蚀防护涂层的复合粉及其制备方法，涉及半导体防护涂层材料制备领域，旨在解决适用于等离子喷涂制备半导体领域耐腐蚀防护涂层的问题，其技术方案要点是：(1)将碳化铌原料粉体球磨；(2)加入铌粉料并加入有机胶黏剂，继续球...
该专利属于基迈克材料科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过基迈克材料科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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