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本技术公开一种半导体加工用镀膜设备，包括机台，机台顶端固定有机罩，机罩顶端固定有气缸，气缸底端通过横移机构固定有吊板，吊板底端等距固定有镀膜喷头；本技术通过在底板顶端两侧的加工台上滑动连接呈对称分布的支撑板，并在两组支撑板相对一侧设置用于半...
该专利属于扬州思普尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州思普尔科技有限公司授权不得商用。

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