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描述了一种用于在基板上沉积材料的沉积源(100)。沉积源(100)包括连接到第一驱动器(131)的可旋转阴极(110)。此外，沉积源(100)包括在可旋转阴极(110)内提供的可旋转磁体组件(120)。可旋转磁体组件(120)连接到第二驱动...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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