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本发明公开了聚碲氧烷在非化学放大光刻胶中的应用，该聚碲氧烷具有Te‑O链。其中Te元素对EUV的高吸收以及特殊的Te‑O主链，旨在实现优异的UV光刻(I‑line、KrF、ArF等)、电子束光刻和EUV光刻性能，尤其是解决兼顾高灵敏度、高分...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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