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用于带电粒子系统中缺陷位置分仓的系统和方法技术方案
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下载用于带电粒子系统中缺陷位置分仓的系统和方法的技术资料
文档序号:43304485
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用于为与带电粒子束系统的样品相关联的缺陷检测和缺陷位置分仓提供束的装置、系统和方法。图像分析的方法可以包括获得样品的图像,标识在样品的图像中捕获的特征,根据所标识的特征的设计布局生成模板图像,将样品的图像与模板图像进行比较,以及基于比较来处...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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