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本发明公开了一种具有接触插塞结构的VDMOSFET器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上方设置有导电衬底层,导电衬底层的上端两侧均设置有导电外延层,导电衬底层的上端中部设置有导电柱区,导电柱区的上方均设置有绝缘层和栅介质...该专利属于杭州谱析光晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州谱析光晶半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种具有接触插塞结构的VDMOSFET器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上方设置有导电衬底层,导电衬底层的上端两侧均设置有导电外延层,导电衬底层的上端中部设置有导电柱区,导电柱区的上方均设置有绝缘层和栅介质...